Marmeren lineaire motormodule met dubbele as

Deze marmeren lineaire motormodule met dubbele as is gebouwd op een granieten basis van klasse 00 (geselecteerd vanwege zijn lage thermische uitzettingscoëfficiënt en trillingsdempende eigenschappen) en integreert twee krachtige lineaire motorassen met luchtgelagerde geleidingen voor een herhaalnauwkeurigheid van ± 0,5 μm - ideaal voor halfgeleiderlithografie, lasermicrobewerking, optische inspectie en precisiemetrologiesystemen.

Ontworpen om de beperkingen van op aluminium of staal gebaseerde trappen met twee assen (thermische drift, trillingen, lage stijfheid) aan te pakken, elimineert onze marmeren lineaire motormodule met twee assen mechanische vervorming bij hogesnelheidsbewegingen (tot 2 m/s per as) en handhaaft een consistente precisie bij bedrijfstemperaturen (-10℃ tot 40℃). Het synchrone besturingssysteem op de X-Y-as (gebaseerd op EtherCAT) maakt bewegingssynchronisatie op nanometerniveau mogelijk, wat cruciaal is voor ultraprecieze processen zoals 7nm-chipverpakking, fabricage van micro-optische componenten en geavanceerde 3D-metingen.

De marmeren lineaire motormodule met dubbele as is vervaardigd volgens de optische kwaliteitsnormen ISO 9001:2015 en ISO 10110 en beschikt over een afgedicht kabelbeheersysteem, antistatische coating en vacuümcompatibele opties (voor gebruik in halfgeleidercleanrooms). Het is compatibel met toonaangevende bewegingscontrollers (Aerotech, PI, Newport) en metrologiesystemen (Renishaw laserinterferometers) en kan naadloos worden geïntegreerd in ultraprecieze productielijnen, waardoor de procesopbrengst tot 20% wordt verbeterd in vergelijking met conventionele trappen met dubbele assen op metalen basis.

Productserie

DT-GM-DX1-serie (compacte precisie)

X-Y verplaatsingsbereik: 100×100 mm tot 500×500 mm, ±0,5 μm herhalingsnauwkeurigheid, 1 m/s maximale snelheid per as. Ideaal voor het bewerken van micro-optische componenten, precisiemetrologie en halfgeleiderverpakkingen in klein formaat.

DT-GM-DX2-serie (hoge snelheid in het middenbereik)

X-Y-verplaatsingsbereik: 500×500 mm tot 1000×1000 mm, ±1 μm herhalingsnauwkeurigheid, 2 m/s maximale snelheid per as. Geschikt voor lasermicrobewerking, reparatie van LCD-panelen en optische inspectie van middelgrote formaten.

DT-GM-DX-VAC-serie (vacuümcompatibel)

X-Y bewegingsbereik: 100×100 mm tot 800×800 mm, ±0,5 μm herhalingsnauwkeurigheid, vacuümwaarde 10⁻⁶ mbar. Ontworpen voor halfgeleider-cleanroomtoepassingen, vacuümcoating en ruimtesimulatiesystemen.

Kernvoordelen

1. 00-kwaliteit granieten basis voor ongeëvenaarde stabiliteit

De basis is gemaakt van natuurlijk graniet van kwaliteit 00 (thermische uitzettingscoëfficiënt ≤0,5×10⁻⁶/℃) en biedt uitzonderlijke thermische stabiliteit (≤0,001 mm/℃) en trillingsdemping (dempt 80% van de hoogfrequente trillingen). Dit elimineert thermische drift en mechanische resonantie (veel voorkomende problemen bij op metaal gebaseerde trappen) in ultraprecieze productieprocessen.

2. Submicron-precisie met luchtgelagerde geleiders

Geïntegreerde luchtgelagerde lineaire geleidingen (in plaats van traditionele kogellagers) elimineren wrijving en slijtage, waardoor een herhaalnauwkeurigheid van ± 0,5 μm en een resolutie van 1 nm worden bereikt (via Renishaw absolute encoders). Het contactloze ontwerp garandeert een onderhoudsvrije werking gedurende 100 miljoen cycli, cruciaal voor de ultraprecieze productie van grote volumes.

3. X-Y-as synchrone bewegingsbediening

Op EtherCAT gebaseerde realtime bewegingscontrole maakt synchronisatie op nanometerniveau mogelijk tussen X- en Y-assen (synchronisatiefout ≤50 nm), en ondersteunt complexe bewegingsprofielen (circulaire interpolatie, spiraalscannen) die nodig zijn voor lasermicrobewerking en optische patroonvorming. De open architectuur is compatibel met bewegingssoftware van derden (LabVIEW, MATLAB).

4. Hoge stijfheid en lage vervorming

De versterkte granietstructuur met geïntegreerde ribbels levert een stijfheid van ≥300N/μm, waardoor doorbuiging onder dynamische belastingen (tot 50 kg per as) wordt geminimaliseerd. Deze stabiliteit zorgt voor een consistente precisie, zelfs tijdens snelle acceleratie (1 g), waardoor procesvariaties worden verminderd en de productopbrengst wordt verbeterd.

5. Aanpasbaar voor ultraprecieze toepassingen

Volledige aanpassing van het slagbereik (100×100 mm tot 1000×1000 mm), encoderresolutie (1 nm tot 1 μm), vacuümcompatibiliteit (10⁻³ tot 10⁻⁶ mbar) en oppervlakteafwerking (Ra ≤0,02 μm). Optionele functies zijn onder meer een antistatische coating, cleanroom-compatibele materialen en geïntegreerde laserinterferometrie voor in-situ kalibratie.

6. Betrouwbaarheid van industriële kwaliteit voor gebruik in cleanrooms

IP67-beschermingsgraad (standaard) / IP68 (vacuümversie), antistatische coating (10⁶-10⁹ Ω/sq) en lage deeltjesemissie (klasse 1 cleanroom-compatibel) maken het geschikt voor halfgeleiderfabrieken en optische productie-cleanrooms. MTBF ≥40.000 uur bij continu gebruik, waardoor de totale eigendomskosten (TCO) over een periode van 5 jaar met 30% worden verlaagd.

Technische specificaties

Granieten basis (00-kwaliteit) ± 0,5 μm Herhaalde positioneringsnauwkeurigheid X-Y-as Synchrone beweging Thermische stabiliteit (≤ 0,001 mm/℃) Hoge stijfheid (≥ 300 N/μm)

Toepassingsscenario's

Deaote's marmeren lineaire motormodules met twee assen zijn ontworpen voor ultraprecieze productie in wereldwijde hightechsectoren:

● Halfgeleiders en micro-elektronica: 7nm/5nm-chipverpakking, waferinspectie, uitlijning van lithografie, fabricage van MEMS-apparaten

● Optische productie: bewerking van micro-optische componenten (lenzen, prisma's), assemblage van glasvezelarrays, laserpatroonvorming van glassubstraten

● Precisiemetrologie: optische 3D-meting, bewegingsfasen van coördinatenmeetmachines (CMM), oppervlakteprofilering op nanometerniveau

● Lasermicrobewerking: laserablatie, microboren, nauwkeurig graveren van harde materialen (silicium, saffier, keramiek)

● Lucht- en ruimtevaart en defensie: productie van microsensoren, kalibratie van traagheidsnavigatiecomponenten, assemblage van optische satellietsystemen

Over Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. is een toonaangevende hightech onderneming gespecialiseerd in R&D, productie en verkoop van ultra-precieze bewegingscomponenten, met een focus op op graniet gebaseerde lineaire motormodules voor de wereldwijde halfgeleider-, optische en ruimtevaartmarkten. Met meer dan 15 jaar expertise in het ontwerpen van precisiematrijzen en ultraprecieze bewegingssystemen bedienen we klanten in heel Europa, Noord-Amerika, Japan en Korea in de hoogwaardige productiesectoren.

Onze marmeren lineaire motormodules met twee assen zijn ontwikkeld in ons speciale R&D-laboratorium met ultraprecieze bewegingen, waarbij gebruik wordt gemaakt van geavanceerde granietbewerking (tolerantie ± 0,001 mm), laserkalibratie en luchtgelagerde assemblagetechnologieën om sub-micronnauwkeurigheid te bereiken. We bieden end-to-end maatwerkdiensten – van moduleontwerp en prototyping tot kalibratie op locatie en wereldwijde technische ondersteuning – om ervoor te zorgen dat onze oplossingen voldoen aan de unieke eisen van ultraprecieze productielijnen.

Toegewijd aan "Precisie op nanometerniveau, stabiliteit voor een leven" investeert Deaote 20% van de jaarlijkse omzet in R&D om ultra-precieze bewegingsoplossingen van de volgende generatie te ontwikkelen. Onze ISO 9001:2015- en ISO 10110-gecertificeerde productiefaciliteit en ons wereldwijde servicenetwerk zorgen voor snelle responstijden (≤48 uur) en lokale technische ondersteuning, waardoor we een vertrouwde partner zijn voor fabrikanten van hoogwaardige ultraprecieze apparatuur wereldwijd.