Wafer testen

De wafertests zijn gebaseerd op de meer dan 15 jaar expertise van Deaote op het gebied van de productie van precisievormen en bewegingscomponenten en zijn voorzien van een stijve granieten basis, een thermisch gestabiliseerde structuur en een antitrillingsontwerp om consistente prestaties in cleanroomomgevingen (Klasse 100/1000) te garanderen. Het ondersteunt naadloze integratie met wafer-sondes, optische microscopen, ATE-systemen (Automatic Test Equipment) en tools voor data-acquisitie, waardoor het ideaal is voor zowel R&D als grootschalige productietests van logica-chips, geheugenapparaten, vermogenshalfgeleiders en samengestelde halfgeleiders (GaAs, SiC, GaN).

Het modulaire ontwerp van het wafertesten maakt volledige aanpassing van het bereik, snelheids-/acceleratieparameters en besturingsinterfaces (GPIB, USB, Ethernet) mogelijk om te voldoen aan specifieke wafertestworkflows. Onze oplossing stelt fabrikanten van halfgeleiders in staat een hogere testnauwkeurigheid te bereiken, het percentage foutieve fouten te verminderen en de doorvoer te verbeteren – cruciaal om te voldoen aan de miniaturisatie- en prestatie-eisen van halfgeleiderapparaten van de volgende generatie.

Kernvoordelen

1. Sub-micron 4-assige uitlijningsnauwkeurigheid

Uitgerust met lineaire encoders met hoge resolutie (resolutie van 0,05 μm) en direct aangedreven koppelmotoren voor de Theta-as, bereikt het platform ± 0,5 μm herhaalde positioneringsnauwkeurigheid (X/Y), ± 1 μm absolute nauwkeurigheid (X/Y), ± 2 μm Z-as positioneringsnauwkeurigheid en 0,001 ° Theta-as hoeknauwkeurigheid. Dit zorgt voor een nauwkeurige uitlijning tussen wafermatrijzen en testsondes/inspectie-optica, waardoor door verkeerde uitlijning veroorzaakte fouten bij elektrische karakterisering en optische inspectie worden geëlimineerd.

2. Snelle en stabiele bewegingsbediening

Geoptimaliseerde algoritmen voor bewegingscontrole en luchtgelagerde geleidingen maken bewegingen op hoge snelheid mogelijk (max. snelheid X/Y: 150 mm/s, max. snelheid Z-as: 50 mm/s) met een ultrakorte bezinkingstijd (≤30 ms voor X/Y, ≤50 ms voor Z). Het contactloze aandrijfmechanisme elimineert mechanische slijtage en speling, waardoor een consistente bewegingsstabiliteit gedurende miljoenen cycli wordt gegarandeerd – essentieel voor het testen van wafers met hoge doorvoer (tot 2500 matrijzen per uur).

3. Thermisch stabiel en anti-vibratieontwerp

Het platform is gebouwd met een basis van natuurlijk graniet (thermische uitzettingscoëfficiënt ≤0,5×10⁻⁶/℃) en een actief anti-vibratie-isolatiesysteem. Het minimaliseert positionele drift veroorzaakt door temperatuurschommelingen (≤0,1μm/℃) en externe trillingen. De Z-as is voorzien van een nauwkeurige kogelomloopspindel met voorbelastingscompensatie om de stabiliteit tijdens verticale positionering te behouden, wat van cruciaal belang is voor de controle van de contactkracht van de sonde (0,1 g tot 100 g) bij het testen van wafers.

4. Brede wafer-compatibiliteit en flexibiliteit

Het testen van wafers ondersteunt waferformaten van 4 inch tot 12 inch met verstelbare vacuümklauwplaten en automatische centreringsmechanismen, waardoor aangepaste armatuurvervanging niet nodig is. Het is geschikt voor waferdiktes van 50 μm tot 800 μm en is compatibel met kale wafers, wafers met patronen en pakketten op waferniveau (WLP), waardoor het kan worden aangepast aan diverse testbehoeften op het gebied van halfgeleiders (DC-parametrische tests, RF-tests, optische inspectie).

5. Cleanroom-compatibel en weinig onderhoud

Het testen van wafers is ontworpen voor klasse 100 cleanroomgebruik en beschikt over een afgesloten behuizing met HEPA-filtratie om deeltjesverontreiniging van wafers en testapparatuur te voorkomen. IP54-beschermingsgraad en smeermiddelvrije luchtgelagerde componenten verminderen de onderhoudsvereisten, waardoor de MTBF (Mean Time Between Failures) wordt verlengd tot ≥35.000 uur onder standaard bedrijfsomstandigheden.

6. Eenvoudige integratie en aanpassing

Het platform is compatibel met industriestandaard besturingssoftware en communicatieprotocollen (GPIB, RS232, Ethernet/IP) en kan naadloos worden geïntegreerd met bestaande wafertestsystemen. Suzhou Deoute biedt volledige aanpassing van het bewegingsbereik (X/Y: 100×100 mm tot 300×300 mm; Z: 50 mm tot 150 mm), het rotatiebereik van de Theta-as (±5° tot ±10°) en de temperatuurregeling van de boorkop (-40℃ tot 200℃) om aan de unieke klantvereisten te voldoen.

Technische specificaties

Toepassingsscenario's

Ons XYZT-platform is ontworpen voor het testen en inspecteren van 4-assige wafers en wordt veel gebruikt in de volgende halfgeleidertoepassingen:

● Wafer Probing: elektrische karakterisering (DC/AC/RF) van logische chips, DRAM/NAND-geheugenapparaten en vermogenshalfgeleiders (MOSFET, IGBT)

● Optische inspectie: detectie van defecten op waferniveau, patroonuitlijning en metrologie voor geavanceerde halfgeleiderproductie

● Betrouwbaarheidstesten: hoge/lage temperatuurwisselingen, inbrandtesten en karakterisering van de levensduur van samengestelde halfgeleiders (GaAs, SiC, GaN)

● Wafer-Level Packaging (WLP): Uitlijning en verbinding van pakketten op wafer-niveau voor consumentenelektronica en automobieltoepassingen

● R&D-testen: prototypen en validatie van nieuwe halfgeleiderontwerpen in laboratoriumomgevingen (aanpasbaar voor testen in kleine batches)

Over Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. is een toonaangevende hightech onderneming die gespecialiseerd is in R&D, productie en verkoop van precisiebewegingsplatforms, op maat gemaakte mallen en halfgeleidertestcomponenten. Met meer dan 15 jaar expertise op het gebied van precisieproductie bedienen we wereldwijde klanten in de halfgeleider-, elektronica- en industriële automatiseringssectoren in Europa, Noord-Amerika, Azië en daarbuiten.

Ons XYZT-inspectiebewegingsplatform maakt gebruik van onze kerncompetenties op het gebied van precisiematrijsontwerp en motion control-engineering om de unieke uitdagingen van het testen van halfgeleiderwafels aan te pakken. We bieden end-to-end oplossingen – van platformontwerp en prototyping op maat tot installatie op locatie, kalibratie en levenslange technische ondersteuning – om ervoor te zorgen dat onze producten voldoen aan de strengste industrienormen voor precisie en betrouwbaarheid.

Deaote is toegewijd aan "Precision Drives Progress, Innovation Creates Value", is ISO 9001:2015 gecertificeerd en investeert 15% van de jaarlijkse omzet in R&D om de volgende generatie bewegingsoplossingen voor de halfgeleiderindustrie te ontwikkelen. Ons wereldwijde servicenetwerk zorgt voor snelle responstijden en lokale ondersteuning voor onze internationale klanten.