XYZT Gantry Motion Stage voor waferinspectie
Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd., gevestigd in het Wuzhong-district van Suzhou City, provincie Jiangsu, is een toonaangevende fabrikant van uiterst nauwkeurige XYZT Gantry Motion Stage voor waferinspectietoepassingen. Met meer dan 18 jaar expertise op het gebied van precisiebewerking en motion control, zijn wij gespecialiseerd in het produceren van op maat gemaakte 4-assige (X/Y/Z/Theta) portaalpositioneringssystemen die sub-micronnauwkeurigheid leveren voor waferinspectieapparatuur van 200 mm, 300 mm en 450 mm.
Onze XYZT Gantry Motion Stage voor waferinspectie integreert zeer stijve granieten bases, luchtlagergeleiders, lineaire motoraandrijvingen en nauwkeurige optische encoders om een positioneringsnauwkeurigheid van ± 1 µm en een herhaalbaarheid van ± 0,1 µm te bereiken. Onze portaaltrappen zijn ontworpen voor 24/7 gebruik in cleanroomomgevingen (klasse 100/klasse 10) en beschikken over ultralage trillingen, een hoge dynamische respons (max. snelheid 500 mm/s) en thermische stabiliteit om betrouwbare waferdefectdetectie en dimensionale metrologie gedurende de gehele productielevenscyclus te garanderen.
● Aangepaste XYZT Gantry Motion Stage voor waferinspectie, ontworpen volgens de specificaties van uw waferinspectieapparatuur en CAD-tekeningen
● ±1 µm positioneringsnauwkeurigheid met herhaalbaarheid op nanometerniveau (±0,1 µm) voor kritische wafermetingen
● Luchtlagertechnologie voor wrijvingsloze beweging en geen vorming van deeltjes in cleanroomomgevingen
● Thermisch gestabiliseerd ontwerp met actieve temperatuurregeling (±0,01°C) voor ultrahoge precisie
● ISO 9001:2015-gecertificeerde productie met volledige traceerbaarheid voor naleving van de halfgeleiderindustrie
Belangrijkste kenmerken en kernvoordelen
Mechanisch ontwerp met hoge stijfheid
Onze XYZT Gantry Motion Stage voor waferinspectie is voorzien van monolithische granieten basissen (thermische uitzettingscoëfficiënt < 0,5 × 10⁻⁶/°C) en met koolstofvezel versterkte polymeer (CFRP) portaalbalken voor uitzonderlijke structurele stijfheid en minimale thermische vervorming. Het symmetrische portaalontwerp elimineert Abbe-fouten en zorgt voor een uniforme verdeling van de belasting over het gehele inspectiegebied van de wafer.
Precisie bewegingscontrolesysteem
Geïntegreerd met krachtige lineaire motoraandrijvingen (geen speling, hoge acceleratie) en absolute optische encoders (resolutie van 1 nm), leveren onze XYZT-portaaltrappen vloeiende, nauwkeurige bewegingen met sub-micronnauwkeurigheid. Het geavanceerde servobesturingsalgoritme compenseert dynamische fouten en zorgt voor positioneringsstabiliteit op nanometerniveau tijdens waferscanbewerkingen.
Cleanroom-klaar ontwerp
Elke XYZT Gantry Motion Stage voor waferinspectie is ontworpen voor klasse 100/klasse 10 cleanroomgebruik met vacuümcompatibele componenten, afgedichte lineaire geleidingen en materialen met weinig ontgassing (in overeenstemming met SEMI S2-0701). De luchtlagertechnologie elimineert de vorming van deeltjes, terwijl het ingesloten kabelbeheersysteem verontreiniging tijdens snelle waferinspectiecycli voorkomt.
Technische specificaties
|
XYZT-portaalpodiummodel |
Reisbereik (X/Y/Z/Theta) |
Prestatiespecificaties |
|
DT-WI200 (wafer van 200 mm) |
300×300×50mm / ±3° |
±1 µm nauwkeurigheid, ±0,1 µm herhaalbaarheid, 500 mm/s snelheid, 5 m/s² versnelling |
|
DT-WI300 (300 mm wafeltje) |
400×400×75mm / ±3° |
±1,5 µm nauwkeurigheid, ±0,2 µm herhaalbaarheid, 400 mm/s snelheid, 4 m/s² versnelling |
|
DT-WI450 (wafer van 450 mm) |
500×500×100mm / ±3° |
±2 µm nauwkeurigheid, ±0,3 µm herhaalbaarheid, 300 mm/s snelheid, 3 m/s² versnelling |
|
DT-WI-aangepast (aangepast) |
Aangepast volgens vereisten |
Op maat gemaakte nauwkeurigheid/herhaalbaarheid, aangepaste snelheid/versnelling, gespecialiseerde cleanroombeoordeling |
Mechanische specificaties
Basismateriaal: zwart graniet (00级) / CFRP-composiet
Geleidingssysteem: precisieluchtlagers / lineaire rolgeleiders
Aandrijfsysteem: borstelloze lineaire motoren / servomotoren met kogelomloopspindels
Feedback: absolute optische encoders (resolutie van 1 nm)
Omgevingsspecificaties
● Bedrijfstemperatuur: 20±0,5°C (actieve thermische regeling)
● Cleanroomclassificatie: Klasse 100 (ISO Klasse 5) / Klasse 10 (ISO Klasse 4)
● Trillingsisolatie: Actief/passief trillingscontrolesysteem
● Voeding: 200-240 V AC, 50/60 Hz, 1-fase/3-fase
Toepassingen
● Snel scannen van 200 mm/300 mm/450 mm wafers op deeltjes- en patroondefecten
● Positionering op nanometerniveau voor optische/microscopische defectdetectiesystemen
● Dynamische vlakheidscompensatie voor inspectie van kromgetrokken wafers
● Integratie met inspectietools voor laserscannen en elektronenmicroscopie
Wafer-metrologie
Waferdimensionale metrologie
● Nauwkeurige meting van waferdikte, buig- en kromtrekkingsparameters
● Uitlijning op submicronniveau voor overlay-metrologiesystemen
● Thermisch gestabiliseerde positionering voor temperatuurgevoelige metrologie
● Geautomatiseerde in-line metrologie voor waferfabricageprocessen
Wafelverwerking
Waferverwerking en -behandeling
● Uiterst nauwkeurige uitlijning voor waferlithografie en etsprocessen
● Cleanroom-compatibele systemen voor het hanteren en overbrengen van wafers
● Dynamische positionering voor lasersnijden en het verdunnen van wafels
● Integratie met robotsystemen voor het hanteren en automatiseren van wafers
Hottags: China XYZT Gantry Motion Stage voor Wafer-inspectie Fabrikant, leverancier, fabriek
Stuur onderzoek
Contact informatie
-
Adres
Gebouw 5, Yuewang Entrepreneurship Park, nr. 2011 Tian'e Dang Road, Hengjing Street, Wuzhong Economic Development Zone, Suzhou, provincie Jiangsu, China
-
Tel
-
E-mailen
Op zoek naar een betaalbare groothandelsprijs? Stuur nu uw tekeningen of monsters naar Deaote. Ons professionele team zorgt voor snelle feedback en hoogwaardige, fabrieksmatige offertes.
